【硅材料制备】.pdf
毛主席语录 中国共产党是全中国人民的领导 核心。没有这样一个核心,社会主义事 人民群众有无限的创造力。他们可 以组织起来,向一切可以发挥自己力量 的地方和部门进军,向生产的深度和广 度进军,替自己创造日益增多的福利 要使全体干部和全体人民经常想 到我国是一个社会主义的大国,但又是 一个经济落后的穷国,这是一个很大的 矛盾。要使我国富强起来,需要几十年 艰苦奋斗的时间,其中包括执行厉行节 约、反对浪费这样一个勤俭建国的方 业就不能胜利.事业.针。
半导体器件制造技术丛书2 558781 硅材料制备 《半导体器件制造技术丛书》编写组编 國防工掌品版社
7目录 2-2四氯化硅和三氯氢硅氢还原法生产多晶硅的工艺过程 1-1硅材料在半导体器件制造中的重要地位 半导体硅材料的制备方法 I-V族化合物半导体简介 1-4半导体材料硅的晶格结构 1-5标志硅单晶的质量的主要参数 二、多晶硅生产工艺 2-1.多晶硅生产工艺概述 1.多晶硅的主要性质和用途 2.多晶硅制备方法简介 3.生产工艺的改进 1.四氮化硅与三氮氢硅的合成 2.四氮化硅与三氯氢硅的提纯 3.氣气净化 4.氩还原 5.