【用硅烷法制取半导体硅】湖南人民.pdf

毛主席语录中国人民有志气,有能力,一定要在不远的将来,赶上和超过世界先进水平.外国有的,我们要有,外国没有的,我们也要有.我们不能走世界各国技术发展的老路,跟在别人后面一步一步地爬行。我们必须打破常规,尽量采用先进技术,在一个不太长的历史时期内,把我国建设成为一个社会主义的现代化的强国.中国应当对于人类有较大的贡献。

用硅烷法制取半导体硅是一种新型的制取半导体硅的最好方法之一。它不仅能制备高纯度半导体硅,而且硅烷气体还可以应用于电子工业中的特种外延、隔离、钝化等技术及新型高质量的器件上。本书比较系统地介绍了用硅烷法从工业硅制取半导体硅的有关问题,特别着重介绍了具有中国独特风格的用液氨法吸附提纯硅烷制取多晶硅的工艺以及生产中所用原料的规格和要求。同时,还叙述了用硅烷直接生长单晶硅的工艺过程及条件。对于硅烷法的安全生产问题也作了一定介绍。本书可供从事电子工业的工人、科技人员和有关专业师生参考。

目录一、概述(一)半导体硅的性能及用途(二)半导体硅的制备方法及比较二、硅烷的制备(一)硅烷的性质和用途(二)硅烷的制备方法(三)用卤铵盐在液氨中分解硅化镁制备硅烷的工艺三、硅烷的提纯(一)硅烷的提纯方法(二)采用以吸附法为主提纯硅烷的工艺四、硅烷的热分解 71)(一)硅烷热分解的反应及条件(二)用钼丝或硅芯沉积生长多晶硅的工艺(三)直接在硅籽晶上沉积生长单晶硅的工艺 85)五、硅烷法生产中的安全防护 92)(一)中毒和烧伤(二)防爆(三)防火、防触电(10