【光学设计文集】科学.pdf
光学设计文集 常群著
目剥 微缩镜头的光学设计 一、微缩镜头的一般介绍 二、镜头的光学设计过程及结果 三、镜头的加工要求变焦距镜头的光学设计 *16一、变焦距镜头的概况二、变焦距镜头设计的一般方法 三、机械补偿法变焦距设计示例 四、变焦距镜头最佳象面位移的调整 *五、变焦距镜头结构型式选择考虑方法 制版物镜的光学设计 一、制版物镜的概况 *二、二级光谱及其校正一一复消色差和超消色差 三、复消色差制版物镜的设计方法 用阻尼最小二乘法自动校正光学系统的象差一、阻尼最小二乘法
微缩镜头的光学设计 一、微缩镜头的一般介绍 由于微电子技术的发展,要求提出设计和制造超微缩复 制镜头,来满足光刻技术中制作照象掩模版的需要,超微缩镜头指缩小比<100倍的镜头.制作照象掩模通 常分两步进行:第一步把原图缩制成中间的负版.第二步使 中间负版再投影复制成预定缩小比的照象掩模。再用最终制 成的照象掩模来制作电子线路和器件,微电子线路要求在较 大面积中,能容纳更多更复杂的线路和更高精度的细小几何 形状的器件,从而对超微缩镜头的象质提出了高度要求.为完成初缩和精缩过程,需满足达到总倍率要求的两种 微缩镜头,使332=3.[wshop_paid show_buy_btn="true"]