【用於激光加工中调QNdYAG激光器研究】.pdf
浙江大学硕士学位论文 提交日期 2003年03月
浙江大学硕士学位论文 摘要 由于激光束具有良好的方向性和高能量密度,可将光束聚焦到微米量级.由 于激光束的脉冲宽度可达数十纳秒到数十皮秒,能够快速加热,对材料的热影响 效应减小:因此,激光的以上优点为微加工提供了有利的条件,同时也促使激光 加工技术迅速发展.1995年以来,国外学者发表了一些文章,即在波导的硅基底上镀有一层a-Si(amorphoussilicon)薄膜,用激光微处理这层a-Si薄膜的厚度,能够精确地控 制波导的双折射和精确地改善波导的色散等,提高了波导器件的稳定性和降低了 波导器件的传播损耗等:并举例说明了将激光微处理技术应用到具体的波导器件 的实例。
浙江大学硕士学位论文 Abstract Atpresent,laser process technology developsfast,since a laserlight can obtain manygoodcharacteristics such asgooddirection,highenergydensity tofocus the beamat amicrometerlevel,smallpulsewidthrangingfrom dozens ofNanoseconds todozens of Picoseconds,heating materialimmediately,dec