[双声路声表面波质量沉积效应传感器研究]

【双声路声表面波质量沉积效应传感器研究】.pdfAbstract After mechanisation and informatisation of human activities,the acquisition of therightinformationhasbecomethelargestobstacletototalautomation.Therefore breakthroughs are required in technology,price,size,weight,power consumption and user-friendliness SAW sensors have the advantages of hig目 第一章SAW技术原理 1SAW的激发和接收 1SAW器件所用的压电材料 1用A模型计算IDT的响应 1SAW器件的特点1SAW器件在通信中的应用参考文献第二章SAW在传感器中的应用 2SAW用于传感器的基本原理2 SAW传感器的应用2 SAW传感器的特点2 SAW传感器的特殊应用参考文献第三章 双声路质量传感器芯片的设计和实现 3设计的基本考虑3SAW传感器的主要设计参数3工艺流程参考文献第四章测试电路的设计第一章SAW技术原理 1SAW的激发和接收 SAw(SurfaceAcousticWave,声表面波)是指在固体表面传播的声波,类 似于在水面上传播的波浪。当在半无限固体的表面放置一个线振动源时,固体中 将激发出三种模式的体波,分别为纵波L(Longitudinal)、垂直剪切波SV(Shear Vertical)和横向剪切波SH(ShearHorizontal),如图1-1所示。沿贴近表面的方 向传播的SV和L波通过边界条件发生耦和,组成一个新的模式即SAW。瑞利 勋爵在研究地震波的过程中首先证明了SAW的存在,因此他发现的SAW振动 模式也被称为瑞利波。
———— 文字由OCR识别(未校验)，可能存在错字；请以原始完整版为准。