【双声路声表面波质量沉积效应传感器研究】.pdf

Abstract After mechanisation and informatisation of human activities,the acquisition of therightinformationhasbecomethelargestobstacletototalautomation.Therefore breakthroughs are required in technology,price,size,weight,power consumption and user-friendliness SAW sensors have the advantages of hig

目第一章SAW技术原理 1SAW的激发和接收 1SAW器件所用的压电材料 1用A模型计算IDT的响应 1SAW器件的特点1SAW器件在通信中的应用参考文献第二章SAW在传感器中的应用 2SAW用于传感器的基本原理2 SAW传感器的应用2 SAW传感器的特点2 SAW传感器的特殊应用参考文献第三章双声路质量传感器芯片的设计和实现 3设计的基本考虑3SAW传感器的主要设计参数3工艺流程参考文献第四章测试电路的设计

第一章SAW技术原理 1SAW的激发和接收 SAw(SurfaceAcousticWave,声表面波)是指在固体表面传播的声波,类似于在水面上传播的波浪。当在半无限固体的表面放置一个线振动源时,固体中将激发出三种模式的体波,分别为纵波L(Longitudinal)、垂直剪切波SV(Shear Vertical)和横向剪切波SH(ShearHorizontal),如图1-1所示。沿贴近表面的方向传播的SV和L波通过边界条件发生耦和,组成一个新的模式即SAW。瑞利勋爵在研究地震波的过程中首先证明了SAW的存在,因此他发现的SAW振动模式也被称为瑞利波。