[磁性隧道结的制备和研究]陈璟

【磁性隧道结的制备和研究】陈璟.pdf学 号:MG9722015 论文答辨日期:年5月15日 指导教师:(签字)磁性隧道结的制备和研究 摘要 近十年来,对金属薄膜中的磁电阻现象的研究有了突飞猛进的发展并开始走 向实用,在此基础上诞生的磁电子学不仅是磁学和微电子学的一门新兴交叉学 科,而且是以自旋相关输运为新的物理核心的一门崭新的物理及技术领域。无 论在实验还是理论研究方面均处于其起始阶段,各种自旋相关输运现象和新型 薄膜结构与磁性的研究吸引了科学家和工程师的兴趣。其中磁性隧道结MTJ做 为一种新兴的研究热点,又表现出与其它磁电阻效应相比更优越的性能。硕士论文:磁性隧道结的制备和研究 目录 第一章前言概序本论文的工作参考文献 第二章基本概念2磁各向异性2磁电阻 参考文献第三章基本实验方法及测试原理 3多层膜的制备 3(直流)磁控溅射法3射频溅射法薄膜厚度的测量3X-ray小角衍射法3双光束干涉显微镜测厚法 3振动样品磁强计(VSM)原子力显微镜及磁力显微镜(AFM及MFM) 3.
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