【衍射微透镜阵列的制作及其应用】廖军.pdf

学号:MG9722045 论文答辨日期:2000年6月14日指导教师:丁剑瓜(签字)

南京大学硕士学位论文一一衍射微透镜阵列的制作及其应用摘要微透镜在是指大小在毫米及毫米量级以下的具有聚焦和傅里叶变换性质的光学元件。在集成光学、光计算、光互连研究中有着广泛的应用.根据微透镜实现方式的不同,可分为折射型和衍射型微透镜两大类。本文在菲涅尔波带板和加伯波带板基础上,通过精缩、光刻、反应离子刻蚀等一套工艺过程制作了不同参数的衍射微透镜阵列。并用制作的微透镜阵列产生了多重像.波面检测是微透镜阵列的一个重要的应用。本文用制作的微透镜阵列和平面CCD接收系统组成了波面测量系统,设计程序从焦面信息中提取测量数据,并对测量结果做最小二乘拟合恢复波面。

南京大学硕士学位论文一一衍射微透镜阵列的制作及其应用第一章引言光学是一门古老的科学,透镜作为一种光学元件,很早就引起了人们的兴趣。通过对它的研究和制造,加深了人们对光学基本规律的认识,推动了几何成象光学和象差理论的发展。在后来的傅里叶光学中,又发现了透镜的傅里叶变换性质,透镜成为光学信息处理的重要元件,在光学信息处理的各种应用中扮演着举足轻重的角色.凝署科学研究的深入和现代工业技术的发展,人们要求将光学系统做得越划小。这种需要来自这样儿个方面的考虑。首先是仪器小型化的考虑,比如激光打印机、传真机、CD一ROM中的光学系统等等。而小型化和集成化往往是紧密相连的。