[亚波长光栅理论研究及其抗反膜的设计]徐庆强

【亚波长光栅理论研究及其抗反膜的设计】徐庆强.pdf学 号:MG9722D446 论文答辨日期:2000年6月14日 指导教师:(签字)南京大学硕士学位论文 亚波长光栅理论研究及其抗反膜的设计 摘要 对于衍射体的结构尺寸接近于波长量级时(即亚波长结构的衍射体),衍射 场的分布有别于标量分析得出的结果,如不同衍射级次之间的衍射波之间是互 相耦合的,而且其反射率,透射率也于衍射体的结构尺寸与波长的比有关,对 于这种亚波长结构的衍射体,衍射场的分布只能由麦克斯韦方程组直接推导获 场理论进行了分析.由于本文分析的都是周期性光栅,所以在第二章,对周期结构的衍射场理 论进行了分析。在第三章,则先由麦克斯韦方程组出发,分析了标量场理论,耦合波理论,等效介质层理论在应用范围上的差异,然后对耦合波理论如何处 理二维亚波长周期光栅进行了讨论。南京大学硕士学位论文 亚波长光栅理论研究及其抗反膜的设计 includethegratingvector,reflectivecharacteristicofthiskindofmediumlayer is analyzedbynumericalcomputation.Keywords:deep sub-wavelengthgratingcoupled-waveanti-reflective film reflectiveindex
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