【层状钙钛矿铁电薄膜材料的制备及其可靠性研究】张志刚.pdf
学 号:论文答辩日期:年 月 日 指导教师:(签字)
目录目录 摘要 英文摘要.第一章绪论1引言1FRAM研究的进展 1FRAM研究的早期困难和突破 1FRAM用铁电薄膜的制备及进展,1疲劳问题及电极材料的选取和新材料的开发 1FRAM的可靠性问题1疲劳保持力 1抗辐照能力1本文研究的主要内容 第二章用MOD方法制备SBT薄膜.2引言样品的制备2衬底的制作2用MOD方法制备SrBiTa2O薄膜2.
目录 5辐照后的SBT薄膜电容的极化恢复研究 5结论.第六章SBT介电和内耗性能的研究6介电常数和漏电流6介电常数和漏电流与频率的关系6介电常数和漏电流与测试温度的关系6厚度对介电常数和漏电流的影响.6退火气氛对交流漏导的影响S6SBT内耗性能的研究第七章总结 攻读博士期间发表和待发表的论文.