【具有有机无机复合结构的氢化非晶碳化硅薄膜的发光性质研究】马天夫.pdf

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具有有机无机复合结构的氢化非晶碳化硅 薄膜的发光性质研究(申请博士学位)作者:马天夫 指导教师:陈坤基 专业:凝聚态物理 研究方向:非晶半导体薄膜发光材料 南京大学物理系 2000年6月12日 The study on luminescent properties of hydrogenated amorphoussilicon carbidefilmswith organic-inorganic compound structures(Apply for Doctor Degree) Author:MA Tianfu Supervisor:Professor CHEN Kunji大量的有机苯环成分。材料的结构是一种有机苯环镶嵌在无机的SiC网络中 的复合结构。随着材料中C含量的增加,有机CH成分增加,材料的结构从 四面体键合的无机网络结构向有机聚合物结构转变。同时,我们仔细的讨论 了这种有机一无机复合结构对材料能带的影响.2、在室温下我们观察到了用CgHio制备的a-SiC:H薄膜有强烈的光致发光现 象。与Nevin小组报道的结果不同,我们制备的a-SiC:H薄膜的发光与材料 的带隙宽度有关。随着材料的带隙从2eV增加到3eV,光致发光的波长 从630nm移动到420nm,几乎覆盖了这个可见光范围,首次实现了a-SiC:H 材料的全色发光。Meanwhile,themicrostructure properties,PLproperties andalsoelectroluminescence properties of this organic-inorganiccompoundmaterial were systemmatically investigated.Mainresults areshown asfollowing: 1.The microstructures of xylene-based a-SiC:H films deposited under various depostion conditionwere