[亚波长光栅耦合波理论的研究及其抗反膜与起偏器的设计]袁惠

【亚波长光栅耦合波理论的研究及其抗反膜与起偏器的设计】袁惠.pdf南京大学硕士学位论文 亚波长光栅耦合波理论的研究及其抗反膜与起偏器的设计 目录 中文摘要 英文摘要 一、引言 二、亚波长结构衍射体的电磁场理论 2理想导体表面衍射体的电磁场理论 2非理想导体表面衍射体的电磁场理论 2周期性衍射体的电磁场理论周期性结构衍射场的能量守恒三、一维亚波长光栅的耦合波分析 3一维亚波长光栅的耦合波分析耦合波分析的数值稳定性与算法优化 四、二维亚波长光栅的耦合波分析二维亚波长光栅的耦合波分析4数值稳定性.南京大学硕士学位论文 亚波长光栅耦合波理论的研究及其抗反膜与起偏器的设计 个方向偏振波(TE波或TM波)反射为零,而与其正交的偏振波(TM波或 TE波)反射最大,从而达到设计起偏器的目的。文中给出了一维深亚波 长光栅抗反膜和起偏器的设计原理,并以不同的入射条件下不同材料的 光栅为例,给出了抗反膜和起偏器的设计参数,并用计算机模拟了一维 深亚波长光栅的衍射效率图,分析了其抗反射和偏振特性。最后,提出 了一种制作亚波长、深亚波长量级光栅的新技术,即采用等离子体增强 化学汽相淀积法(PECVD)制备周期性多层膜,以形成光栅的周期结构.并经过进一步的加工控制光栅深度。南京大学硕士学位论文 亚波长光栅耦合波理论的研究及其抗反膜与起偏器的设计 multilevelfilms,which areobtainedbythemethodofPEVCD.Byusingthismethod,the gratingperiodcan becontrolled at the magnitude of nanometer(nm)Thus the method can band.Thediffractiveproperties of thegratingwhichwehave produced are discussed.
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