【基於扫瞄探针显微术SPM的表面微加工过程】尹晓波.pdf
学 号:14S205 论文答辨日期:1年6月7日 指导救师:(签字)
南京大学研究生毕业论文中文摘要首页用纸 毕业论文题目:基于扫描探针显微术(SPM)的表面微加工过程 凝聚态物理专业98级硕士生姓名:尹晓波 指导教师(姓名、职称)王牧教授 扫描探针显微镜作为一种有效的纳米尺度上的微加工方法,可以制备传统 平面工艺所无法完成的微结构,从而达到人工设计、制备微结构、微器件的目 的。而且利用扫描探针显微镜的各种显微手段,可以进行原位的观察与测量,甚至进行动态的加工并测量。本论文利用场致反应的原理独立设计了一套基于 扫描探针显微镜的表面微加工系统(LithographyAtomicForceMicroscope,简称 LAFM),并利用该系统在微加工领域进行了
couldget.Facilitatedwith LAFM,we fabricated many different structures on the single crystal siliconwaferwithfield-induced-oxidizationmethodplicatedSi/SiO patternswere transcribedontothewaferwith ourinstrument.Wealsostudied the oxidizationmechanism byunderstanding of the dynamic process of the