【金属间化合物涂层金属间化合物／金属多层膜的制备及其结构性能研究】胥伟华.pdf
目 目 誉 摘 Abstract IⅢI 第一章绪论研究背景微电子机械系统 1金属间化合物 Ni 和I NiAl本文的目的和意义,1涂层多层膜 1本文的出发点和工作 参考文献 第二章试验与测试 2材料制备磁控溅射法脉冲激光沉积法 2真空热处理结构表征X射线衍射(XRD)扫描电子显微术(SEM) 2透射电子显微术(TEM)2扫描隧道显微术(STM)2电子探针(EP)S2.
目录 5本章结论.参考文献.第六章 展望.攻读硕士学位期间发表的论文 致 谢
中文摘要 得与原膜料物质其有同样比例成分的薄膜.B.XRD证实上述非晶薄膜经700°C/1hr退火后(在真空热处理炉中)可晶化为 NiA1薄膜。TEM进一步证实薄膜为衍生的面心立方结构,且为多晶.C.由于在晶格常数、结晶学、等温膨胀率上的相似性,NiA1薄膜与Ni衬底显 示出非常好的结合力.D.对涂层分别进行维氏硬度测试和抗氧化性能测试,可知NiA1薄膜涂层确实 可使Ni基获得显著强化(硬化)并显著提高抗氧化性能.二、脉冲激光沉积法制备Ni基NiA1涂层及其结构、性能研究 A.