[声光调制激光外差干涉测量理论和关键技术的研究]赵斌

【声光调制激光外差干涉测量理论和关键技术的研究】赵斌.pdfAdissertation submitted to HuazhongUniversityofScience and Technology forthedegreeofDoctorofPhilosophyinEngineering TheoryandKeyTechniquesof LaserHeterodyneInterferenceMeasurement UsingAcoustic-Optical Modulators Ph.D Candidate ZHAOBin Major MechanicalEngincering Reaserch Field Measurment Technolog进一步在外差干涉测量仪器中加以应用.光针扫描法测量,是在表面粗糙度和表面微观轮廊非接触测量中的一个常 用方法,但由于光针焦点的尺寸受波长大小的限制,不可能小于波长的量级,所 以,光针法测量中,小于波长尺度的表面细微形貌信息将会丢失或失真,因此,要想尽可能真实地反映表面微观形貌,就必须深入研究聚焦光针在物体表面上 反射的机理。作者应用电磁波的矢量衍射理论对此问题进行了探讨,通过对并 矢格林函数积分方程的展开,推导出一套二维天量反射问题的数值计算方法,式简单的远场中心场强的关量计算公式,应用该公式分析表面微观形状与光针 反射扫描测量结果之间的关系是简明、方便的。phases change of this signal—including theinteger part ofphases change electrical circuit technique.Especiallyforheterodyne interferenceusing acous- tic-optical modulators,because its frequency difference can be verylarge,circuit becomesmoredifficult.
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