[曲面表面形貌检测理论与方法的研究]蒋向前

【曲面表面形貌检测理论与方法的研究】蒋向前.pdfAdissertationsubmittedto HuazhongUniversityofScienceandTechnology fortheDegreeofDoctorofPhilosophyinEngineering TheoryandMethodfor Measurement of Curved Surface Topography Ph.D Candidate:JIANG Xiangqian Major:Mechanical Engineering Research Field:Measurement Technology andScientificInstruments Su精度测试结果,该系统的垂直测量范围6mm,垂直分辨率1nm,动态比率6 000000/1示值误差土2 ,示值变动性
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