[非晶硅基半导体薄膜材料及其光伏和场效应应用]邹雪城

【非晶硅基半导体薄膜材料及其光伏和场效应应用】邹雪城.pdfDissertation submitted toHuazhongUniversity of Science andTechnologyfor theDegree of DoctorofPhilosophyinEngineering AmorphousSiliconBasedSemiconductorsand TheirPhotovoltaicandFieldEffectApplications Ph.D.Candidate:ZouXuecheng Major:ElectronicMaterialandDevice Supervisors:Prof.Li Xingjiao Prof.接下来的两章,讨论了非晶硅薄膜晶体管及其有源矩阵中所涉及到的一系列科学 技术问题。除了在非晶硅薄膜晶体管中包含的大量物理问题之外,非晶硅薄膜晶体管 及其有源矩阵的制备过程也是一个包含大量技术难题的复杂工艺,论文在这一领域展 开了较为全面而又深入的研究,并研制成功了我国第一台非晶硅薄膜晶体管有源矩阵 液晶显示器.本课题得到国家重点科技攻关项目,国防科工委国防电子重点预先研究项目以及 国家自然科学基金项目的资助。为几何寄生效应和物理寄生效应,本文由此而讨论了等生效应对有源矩阵液晶显示器 电光性能的影响。通过克服若干技术关键,研制出了IoN/IoFF高达10”,IoN>10-A,VTH.4V的a一SiTFT,并得到了我国第一台对角线为3寸,象素数为220X240的a一 SiTFT有源矩阵液晶显示器,实现了视频信号的动态显示.文中的最后,我们对全文中得出的主要结论进行了总结。
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