[高道密度光刻图形定位技术的研究]胡学骏华中科学大学

【高道密度光刻图形定位技术的研究】胡学骏华中科学大学.pdfDissertationSubmittedto HuazhongUniversity of Science and Technology for theDegreeofDoctorinPhilosophy StudyofHighTrackDensityGraphic HeadPositioningTechnology HuazhongUniversityof ScienceandTechnology Wuhan,Hubei,P.R.China December Ph.D.ABSTRACTTherapiddevelopmentofCPUprocessingabilityofcomputer system andtheversatileofinformationprocessingpromote the magneticrecording technologyto thehigharealrecordingdensity,massive capacity,smallsize,high data transferrate and lowratiOfcosttoperformance.eee.录 N 目 第一章磁记录存储容量的发展概况 1磁记录存储技术的新进展 1HDD“双极窄”磁记录技术的发展 1光头检测位置误差信号的同服定位原理 1光刻伺服盘检测位置误差信号原理 1磁头两级伺服定位原理 1本文研究的目的和主要工作内容 第二章光刻伺服图形及伺服编码设计 2.
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