[溅射法制备LiNbO]三薄膜及波导声光可调滤光器研究传焰峰

【溅射法制备LiNbO】三薄膜及波导声光可调滤光器研究传焰峰.pdf摘要 LiNbO,材料具有优良的铁电、压电以及声光、电光特性,可用来制作多种光波器件.随着高速光通信系统的采用,光电混合集成技术已提到议事日程,人们对采用异质外延 LiNbO,薄膜的兴趣正日益增强,薄膜LiNbO,异质外延方法是这一技术的基础。近年来,LiNbO,光波导器件的研究热点已转向了T:LiNbO声光可调滤光器方面,它具有快速电调 谐功能,而且可以多通道同时操作,是未来全光网络中必不可少的器件之一,本文对异质 外延LiNbO,薄膜技术,包括溅射靶材制备、溅射沉积工艺、薄膜的外延生长特性以及在 1.many otherpcopertieshave been calculated and analysed,manyoftheseresults are Experimentally,sinteringtechnologyofLiNbOsputteringtargetshasbeenstudied andimproved,LiNbOceramic sintering targets with different composition(Li/Nb)had beenmade.第三章LiNbO薄膜的溅射制备及结构变化研究 S3溅射过程中带电粒子与靶材的相互作用机理.S3薄膜的溅射沉积机理 3LiNbO薄膜的R.F磁控溅射沉积工艺研究 R.F磁控溅射设备及薄膜沉积工艺.
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