【表面粗糙度理论及其测量方法的研究】尤政.pdf
提要 本文主要论述作者在表面粗糙度理论及其测量方法领域的研究 成果,主要有两大部分.一部分为获得国家教要科技进步一等奖的SAAT-1型表面粗糙 度得动测量分析仪,它包括2D-SRAT-1型二维表面粗糙度们动测量 分析仪和3D-SAAT-1型三维表面粗糙度目动测堂分析仪两种量仪.该量仪是一个具有宽广动态测堂范国的触针式量仪。垂直方何的量 程为roo.um,分辨率为o.o05μm,测星取大面织30x3omm,x.y方 何最小间距为1m。
base of above,the author did some rasearch works in the fiald of digital measurement of surface roughness and mad
分析 第三部分光外差高精度非接表面粗糙度测堂系统一 第六章超精表面的表面粗糙度的测堂 6 非接触高精度测是的进展— 6 非接触高精度承面粗糙度测量技术的现状 第七章 光外差高精度非接触表面粗糙度测量系统 7 光外差开涉计量技术的保理一 7 光外差高精度非接融表面粗糙度测堂系统的结构一一 7 光学系统与住相检测一 7 光电信号的检测与处理 7 测量系统的软件功能 第八章 光外差高精度非接能表面粗度测量系统钓实验结 果与数据分析一一 8 光外差高精度非接触表面租糖度测量系统的光针的 直经大小及其对租糙度刚堂的影响一— 8.