【激光原位淀积高温超导薄膜动力学的研究】焦树良.pdf
本文在理论和实验两个方面研究了激光原位淀积高温氧化物超导薄膜的动 力学,系统地研究了激光对固体靶的作用过程,激光产生的等离子体的输运过 程及激光等离子体淀积于基片表面成核和生长三个过程。本文主要包括以下内 1.在ZrO2基片上用准分子激光原位淀积出零电阻温度大于90K的 YBa2CuO-超导薄膜.在单晶Si片上原位淀积出ZrO2缓冲层和零电阻温度 2.利用准分子激光蒸发非超导粉末靶及非超导烧结靶原位淀积出 YBaCuO超导薄膜,发现激光淀积超导薄膜的晶体结构与靶的晶体结构无 关。通过分析得出结论:激光淀积超导薄膜超导相晶核是在衬底表面形成的.3.
thicknessvariationof thefilm depositedwith thelaserplasmawere simulatcd.Thecalcula-tionresultswereingoodagreementwiththat of theexpcriments.
9目 第二章激光原位淀积YBaCuO高T.超导薄膜 衬底表面成核和生长 2超导薄膜的原位淀积与性能测试 2原位淀积YBaCuO.超导薄膜 2在Si基片上原位淀积YBaCuO-超导薄膜 2利用非超导靶原位淀积YBaCuO-超导薄膜 第三章激光原位淀积YBa2CuO7-高温超导薄膜过程中 正交相的形成与氧活性的研究 3.