【激光扫瞄原位淀积大面积YBa2Cu3O7-x超导薄膜】宋文栋.pdf
前言 1986年IBM苏黎世实验室的Bednorz和Muller在人们意想不到的绝缘体”陶瓷 材料中发现了Ba一La一Cu一O系统中存在超导转变温度为35K的超导电性。这一发现 拉开了寻找高温氧化物超导体的序幕。几个月后,美国的朱经武,中国的赵忠贤等人各 自利用元素替代方法,发现了零电阻温度在液氮温区(77K)以上的Y一Ba一Cu一O超导 体,从而开创了液氮温区超导体的新时代。于是在全世界范围内掀起了一场时到今日仍 从自前的研究状况来看,近期内高温超导材料可望在微电子学领域中得到应用,而 这些应用的前提是制备出高质量的高Tc超导薄膜,YBaCuO-x超导薄膜就是其中一 种。
InSituDepositionOfLargeAreaYBaCuO-x SuperconductingFilmsbyLaserScanningAblation Abstract Inorder tomeet thencedofmicroelectronicapplications,it isnecessary toprepare largearea highqualityYBaCuO-xSuperconductingfilms.In thisdissertation,the de-positionoflarge area YBaCuO-x superconducting filrns wit
8 9录目 1准分子激光淀积YBaCuO-x超导薄膜 1激光原位淀积YBaCuO-x超导薄膜的研究方向 1激光淀积参量的优化 1各种单晶基片和薄膜的外延生长 1激光淀积超导薄膜的表面颗粒 1YBaCuO-x超导薄膜的应用前景 激光扫描淀积原理及膜厚分布的理论研究 激光扫描淀积大面积超导薄膜的厚度分布的理论研究 单脉冲激光淀积的膜厚分布 2激光扫描半径为0时的膜厚分布 2激光园扫描对离的膜厚分布 2.