[激光淀积超导薄膜过程中的等离子体研究]刘大明

【激光淀积超导薄膜过程中的等离子体研究】刘大明.pdf前言 鉴于高温超导薄膜在微电子学领域诱人的应用前景,几乎在开始块材研究 的同时,高温超导薄膜的研究受到了极大的重视.从国际上主要刊物发表的文 献来看,它成为一段时期内薄膜研究的主题,目前已发展了多种制备高温超导 薄膜的技术,并已向研制器件的实用化发展.脉冲激光淀积法以其工艺简单,、淀积速率快,保成份性好,易于原位成膜等诸多优点,已成为自前最具优势的 三种淀积技术之一,此外,脉冲激光淀积法早已被用于淀积半导体薄膜等其它 研究,该方法在淀积高温超导薄膜应用中的进展必将促进其在整个薄膜领域的 广泛应用。离子体中氧原子浓度的大幅度提高和离子浓度的略为提高,6.针对直流放电辅助大幅度提高激光等离子体中氧原子浓度的结果,用Langmuir 悬浮双探针对放电等离子体参数进行了诊断,诊断表明放电等离子体电子温度为2.5eV,电子密度为1×10.1×10cm3.在此基础上分析了放电辅助下氧分子的离解 过程。说明氧分子的离解一方面由放电等离子体中电子的非弹性碰撞直接产生,更主要的 途径是由放电等离子体中的电子将氧分子抽运到亚稳态和激发态,然后通过激光等离子体 中电子或粒子的碰撞而离解为氧原子,关键词:激光等离子体,激光淀积,激光剥离,高温超导薄膜wavelcngth laser(ii)Laserfluenceisabout 2J/cm(ii)Increase theabsorptiveindexand thermal conduction of target(iv)Add cxternal field between target and substrate(v) In- crease thetargettemperaturesurroundinglaserspot(vi)Polishthetarget surface andlimit theincidentpulsenumber atevcry laserspot.
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