[反应式脉冲激光溅射淀积AIN薄膜及其性质的研究]汪洪海

【反应式脉冲激光溅射淀积AIN薄膜及其性质的研究】汪洪海.pdf华中理工大学博士学位论文 PREPARATIONANDPROPERITIESOF ALUMINUMNITRIDETHINFILMSUSING REACTIVELYPULSED-LASERSPUTTERING DEPOSITION by Wang Honghai Supervised byProf.Qiu Junlin Prof.Zheng Qiguang ADissertationSubmittedto theAcademicDegreesEvaluation Committeeof HuazhongUniversityofScienceandTechnology fortheDegre华中理工大学博士学位论文 的平均溶解速率为26nmmin和14nmmin一,化学激活能分别为23KJmol 一和KJmol。而非晶膜在75C时,在85 的HPO溶液和在20C时,0M 晶膜在HPO.中的激活能为KJmol。并且从微观结构方面对实验结果做了解 释.5、制备研究了AIN/AI/Si和AIN/Cu/Si双层膜,结果表明,双层膜具有良好的抗氧化性 能,说明使用气体放电辅助反应式激光脉冲溅射沉积法制备的AIN薄膜对金属薄膜有 着良好的保护作用。华中理工大学博士学位论文 YY AE2 3= 1-v1-vB+0p n Eo 3.The electrical and optical properties of AIN thin films have been investigated.The exper-imental result shows that theAINfilms deposited under optimizing conditions is stoichiometricaland transparent withresearch about the infrared absorb spectrosco
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