【空心阴极激光器放电理论和实验研究】赖建军.pdf

ADissertationSubmittedto AcademicDegreesEvaluationCommittee ofHuazhongUniversity of Science andTechnology fortheDoctorsDegreeofPhilosophy Theoretical andExperimental Investigationof Discharge for Hollow Cathode Lasers Ph.D.Candidate:LaiJianjun Major:Physical Electronics Supervisor:Prof.

华中科技大学博士学位论文理论和实验研究了容性耦合射频放电特性。理论上利用两电子组模型结合流体过程中的贡献和对放电参量的影响。理论证实了窄间距射频y放电类似于空心阴极放电的结论。实验上对容性耦合射频放电的阻抗匹配和高电流下的阻抗特性进行了研究。通过分析不同馈入方式下射频电极上纵向电压的分布规律和射频放电的自发,辐射光谱,发现影响激光振荡的实现的主要原因是:边端馈入下电极上较强的纵向电压波动使注入功率难以提高,因而未能通过放电溅射产生足够的金属蒸气。

华中科技大学博士学位论文 andattributesthiseffecttotheinhomogeneousdistributionofelectricfieldandionflux at the cathode surfaces.Moreover,the effect ofmagneticfield(parallel tothe electricfield in the cathode dark space)hasbeen modeled anda conclusionis driven:theparallel discharge current density.