[衍射微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究]李毅

【衍射微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究】李毅.pdf华中科技大学博士学位论文 ADissertationSubmittedtotheAcademicDegreesEvaluation CommitteeofHuazhongUniversityofScienceandTechnologyforthe DoctorsDegree of Philosophy in Engineering Research of Diffractive MicrolensArray Monolithic Integration withInfraredFocal Plane Array by Li Yi Supervised by Prof.华中科技大学博士学位论文 为f/2,微透镜阵列的水平和垂直中心距分别为50um和33μm。研究了微 透镜阵列与红外焦平面阵列的对准技术和在红外焦平面阵列的背面制造衍射 微透镜阵列的单片集成技术。讨论了单片集成工艺的关键问题并提出解决办 法,首先在256×290PtSi红外焦平面阵列的背面成功地制造了256×290衍 射微透镜阵列。红外焦平面与微透镜阵列之间的双面对准精度优于3口m,光 刻精度达亚微米,深度刻蚀精度优于5 .6.对256×290PtSi红外焦平面阵列的背面单片集成衍射微透镜阵列的四 个样品进行了测试,并与没有集成衍射微透镜阵列的256X290PtSi红外焦平 面阵列进行了性华中科技大学博士学位论文 Schottkybarrier infraredfocalplane array chip,256X290diffractive microlens arrayswitharectanglemicrolenssizeof50μmX33μmare designed,whichoperate at 入=4μmwiththelensspeedf/2intheair.Itshorizontalandverticalcenter-to- center distanceare 50μm and33um,respectively.
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