[非线冷VOX红外传感器的研究]陈长虹

【非线冷VOX红外传感器的研究】陈长虹.pdf华中科技大学博士学位论文 ADissertationSubmittedto AcademicDegreesEvaluationCommittee ofHuazhongUniversityofScienceTechnology for theDoctorsDegreeof PhilosophyinEngineering Research on Uncooled VOx Infrared Sensors Ph.D.Candidate:Chen Changhong Major:Electronic Science Technology Supervisor:Prof.华中科技大学博士学位论文 2)对VOx薄膜微测辐射热传感器的制备工艺进行了探索,并在国内率先制 备出了8元线列VOx薄膜非致冷微测辐射热传感器,其各个像元器件之间室温暗 电阻的非均匀性误差小于5。解决了传感器的各个像元之间电阻的均匀性问题.3)研究了测辐射热传感器的红外性能测试技术。研制了一套低噪声测辐射热 传感器的偏置电路以及8元线列VOx薄膜非致冷微测辐射热传感器的红外性能测 试系统.4)在296K的环境温度中测试了所制备的VOx薄膜微测辐射热传感器对8-12um红外辐射的黑体响应率和单位带宽均方根噪声电压,计算结果显示在红外 辐照的调制频率为30Hz时,传感器可以实现黑体响应率大华中科技大学博士学位论文 Abiascircuitwithlowernoiseandameasurementsystemused tocharacterisethe performances of the eight-element linear microbolometer array are set up.At an operation temperature of 296K, the responses and noise voltages of the fabricated microbolometerarraywith thenon-uniformityofresistanceles
———— 文字由OCR识别(未校验)，可能存在错字；请以原始完整版为准。