【二元光学衍射微透镜阵列研究】陈四海.pdf

DissertationSubmittedinPartialFulfillmentof theRequirements for theDegree of Doctorof Philosophyin Engineering Research onBinary Optical DiffractiveMicrolens Arrays Ph.D.Candidate:Chen Sihai Major PhysicalElectronics Supervisor Prof.

华中科技大学博士学位论文准误差,能够制作出衍射效率更高的微透镜阵列,该工艺技术在国内外尚未见报导,属本文独创之处。然后,基于小光点扫描原理,建立了一套微透镜阵列光学性能测试系统,通过逐点扫描衍射微透镜阵列焦平面的光强分布,测试出了所制作的衍射微透镜阵列的衍射效率和点扩散函数。本文最后讨论了衍射微透镜阵列在集成光电子(OEIC)中的应用。通过将衍射微透镜阵列与红外焦平面阵列进行混合集成和单片集成,红外焦平面的填充因子可以得到有效提高,光电响应可以提高2-3倍.此外,还将衍射微透镜阵列与半导体激光器阵列进行了集成,以实现对半导体激光器的光束准直。

华中科技大学博士学位论文 fabricationmethodwithlarge alignmenttolerance,self-alignmentmethod,isintroduced indetail bythe author.With this method,morehighdiffraction efficiencymicrolens arraycanbeproduced.Themethodisfirstreportedandis thecreationof the author.