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材料科学与工程 MATERIALSSCIENCEAND ENGINEERING 第17卷 第4期 总第68期 目 次 纳米复合薄膜的制备及其应用研究.韩高荣,汪建勋,杜不一,张溪文,赵高凌 MOCVD方法在TiO纳米粉末制备中的应用孙一军,夏冠群 氮氧化硅薄膜制备方法的研究孟祥森,袁骏,马青松,葛曼珍,杨辉 溶胶一凝胶法制备Ge/SiO微晶复合薄膜.翟继卫,杨合情,张良莹,姚熹 纳米结构材料的模板合成方法.苏育志,龚克成 溶液还原法(SRS)制备聚合物基金属梯度复合膜(PMGCF)的电化学问题研究.
效应产生光学能隙宽化,可见光光致发光,共振隧道“纳米材料”真正作为一种新材料类别的概念,效应,非线性光学等独特的光电性能,加之与集成电则一直是到1984年由德国的Gleiter教授提出的,他 路相兼容的制备技术,使这一硅系纳米复合薄膜在用情性气体蒸发原位加压法制备了具有清洁界面纳 光电器件、太阳能电池、传感器、新型建材等领域有 米晶体钯、铜、铁等1。1987年美国阿贡实验室的 广泛的应用前景,因而日益成为关注焦点.Siegel博士用同样方法制备出纳米氧化钛多晶体.尽管近年来有关纳米复合薄膜的文献报导层出这之后,各种方法制备的纳米材料多达上百种。
Sili 1混气室2转子流量计3步进电机控制仪1真空压力表5不锈钢管喷杆6喷头7基板8石墨基座 9在英管反应室10机械系11WZK温控仅12电阻丝加热源13保温层陶瓷管14密封铜套 图2常压化学相沉积(APCVD)设备的示意图 儿种气相化合物或单质在衬底表面上进行化学反应 调制器件中的应用 生成薄膜的方法。其薄膜形成的基本过程包括气体 我们用硅烷和氢气为原料气,通过精密控制沉 扩散、反应气体在衬底表面的吸附、表面反应、成核 积条件,如射频功率,衬底温度,混合气体浓度等,获 和生长以及气体解吸、扩散挥发等步骤。 
