【耦合微透镜及其列阵的研究】兰祝刚.pdf

第1页摘要微透镜是光纤通信技术、集成光学中的童要元件,可用于光纤耦合器、大容量数据传输、多重图象处理、光平行逻辑运算、集成光路(OEIC)等.研究其制作方法在国际上正方兴未艾,目前主要有离子交换法、光解光教玻璃法、激光化学汽相沉积法等技术,采用激光化学汽相沉积技术(LaserChemicalVapor Deposition)制造微透镜是一种新的技术,它具有微区内选择性沉积、不污染衬底、宜于实现微机控制等突出特点.相对其它方法具有一步工序、工艺与设备简单、成本低等突出优点,在国内尚未有其它单位研制的报导,本论文全面叙述了采用该方法制作微透镜及其列阵的原理激光化学相沉积技术,加

84 57第3页目录 3LCVD技术中影响沉积质量的有关因素,第四章激光化学汽相沉积微透镜及其列阵实验装置系统的设计第六章激光化学汽相沉积SisN4薄膜微透镜机理.第七章激光化学汽相沉积微透镜最佳条件的分析.第八章微透镜列阵、微透镜参数测量与质量分析 8制作微透镜及列阵的律记录与部分参数和分析第二章微透镜与其制造技术 2微透镜的分类与应用.2微透镜的发展和主要制造技术.2.了展望与结束语第三章LCVD技术及其在微光学中的应用 3.

第！页当代科技的发展情况是日新月异的,其中信息技术、生物技术、新能源材料等是最具有潜力的几大科学,作为电子技术领城发展,主要以通信为主题的信息科学,目前,通信领域不断推陈出新,崭露了一种又一种现代的通信技术.未来通信领城发展主要超势是个人通信网(PCN)移动通信技术、卫星通信技术、ISDN扩频技术、光纤通信等是当前的热门科研,他们将是未来PCN的基础,未来的PCN将由卫星、地面网等相互结合组成,其中地面网主要由应用光纤通信技术的光纤光缆网络组成,光纤通信的发展主要是从1970年开始的,这是光纤通信史上划时代的一年,这一年美国康宁公司研制出损耗为20dB/km的光纤,使光纤进