【薄漠的物理特性与智能化膜厚测量仪的研制】秦志伟.pdf

华南理工大学论文摘要近代科学研究发现,许多材料在一定条件下制成的薄膜具有明显不同于块状材料时的晶体结构和特性。薄膜的这些反常结构和特性往往又是材料成为薄膜状态时所特有的,从而为发展新型材料开辟了一个广阔的途径。因而作为物理学、化学、电子学、冶金学等多科学交叉而发展起来的薄膜科学,正越来越受到人们的重视.对于薄膜来说,在厚度这一特定方向上,尺寸很小,只是微观可测的,而且在厚度方向上,由于表面、介面的存在,使物质的连续特性可能发生中断,由此对物理特性产生各种各样的影响。本文对薄膜的各项物理特性作了系统的归纳总结,而对我们最感兴趣的电学特性作了较为详尽的分析。

华南理工大学论文目摘要 ABSTRACT 第一章薄膜的物理性质第一节薄膜的力学性质第二节薄膜的光学性质 Z 第三节薄膜的磁学性质第四节金属薄膜的电学性质第二章薄膜的应用及薄膜厚度测量方法概述第一节薄膜的应用和分类第二节膜厚测量方法概述第三章智能化膜厚测量仪的研制第一节硬件设计第二节软件设计第四章整机性能与误差分析第五章总结和展望致谢-参考文献附录一:智能化膜厚测量仪使用说明附录二:程序清单附录三:整机电路原理图附录四:整机电路印制板图第页

华南理工大学论文薄膜和基体的附着性是薄膜技术和应用上最关心的一个基本问题.通常使用附着力的概念来评价附着性。薄膜附着力的物理意义是,在界面处使薄膜和基片分离所需的垂直于界面的张力或平行于界面的剪切力。它反映了薄膜与基体间的相互作用。附着力是保证薄膜制品耐久使用的重要因素.薄膜的附着力的机理目前还没有完全弄清楚。一般认为来自于下面几个方面:L蒸德华尔斯(VanderWaals)力 2由功函数不等引起的静电附着力 3.化学键力 4.薄膜与基体间扩散形成的中间层影响附着力的因素很多,主要有:基体材料的性质.基体的表面状态.基体的温度.沉积方法.三。