【集成化温湿度双功能传感器的研究】陈雪浪.pdf

目录摘要论.第一章超微粒薄膜湿敏传感器.1 湿敏传感器的现状.1 湿敏传感器发展 .1 Sn0超微粒膜特性(1I)1 Sn0超微粒膜湿敏机理1 Sn0超微粒膜湿敏传感器设计与制作 .1 Sn0超微粒膜湿敏传感器性能测试第二章扩展电阻温度传感器 2 温度传感器发展 S2 SRT传感器中的扩展电阻概念 .2 SRT传感器线性温区拓展机理 2 扩展电阴理论模型 2 平面型表面扩展电阻混度传感器版图2.

摘要当前传感器技术的发展趋势是集成化、超小型化、多功能化与智能化,其中温湿敏传感器由于能实现温度与湿度的同步监测而倍受重视。本文探讨的正是如何使当代先进的超微粒蒋膜技术与成熟的硅平面工艺相兼容,开发出新-代集成化温湿度双功能传感器,以顺应这-发展趋势.本文指出了近年国际国内类似产品的长处与不足,提出了种新方案:即采用掺入3 Bi0的Sn0超微粒膜测湿,采用硅旷展电阻测温,二者集成于同一硅衬底上。又由于温敏和湿敏化”.传感器创造了条件。

6.设计配套的温湿度显示仪整机线路.本课题的后续工作可以考虑在改进、提高性能的基础上开发温、湿、气多功能传感器及配套的智能化显示仪表。