[二氧化锡超微粒膜气敏传感器的研究]郑绍发

【二氧化锡超微粒膜气敏传感器的研究】郑绍发.pdf目录 摘要 第一車:概还 1。1传感器的重婴性 1。2半导体气敏传感器的发质史 1。3半导体气敏材料 I.4SrP2 材料 及其敏感器件的特点 1。气敏传感器的分类及结构 第二章:品Q超微粒膜气敏传感豁的制适2.衬底工艺加工 2加热图形的设计及制作 2绝缘膜Q及引线口的形成 2超微粒敏感膜的制备 2电极和引线焊接 2 加工工艺中的制版和掩横版 第三章:件性能测试3 1 SA敏感膜的敏好机理.二氧化锡超微粒膜微型气敏传感器的研究 华南理工大学无线电系 郑绍发 摘要 随着半导体技术和微电子技术的发展,半导体气敏元件的品 种数量和质量都有了很快的发展,为了满足信息社会对气体传感 器小型化、集成化和智能化的要求,气敏材料正在向超微细化,薄膜化和复合化的方向发展。超微粒薄膜气敏材料由于具有工作 温度低、灵敏度高、响应恢复快、易集成、一致性和稳定性较好 的独特优点。在近期内得到了很大的发展,并且成为当前气敏材 料研究的热门课题.本文采用半导体技术和微电予技术结合的工艺,以硅片作为 衬底,M0-Au合金作直热式的加热电阻,进行了SnO2超 微粒膜微型气敏传感器的制造,并对器件的参数性能进行其主要性能如下:灵敏度随器件的工作温度升高而增大,尤其以乙醇为突 出。在工作温度为200℃时,灵敏度随各气体浓度增加而 增大,但乙醇增加最快。初期恢复、响应一恢复的时间均小于国内外其他同类产 品。器件的激活能在02(1500ppm)中为0ev,低于任何同 类型产品,实验证明:微电子技术和半导体技术的特点是成本低,易为 集成多个传感器,而且本器件具有灵敏度高,工作温度低,功耗 小。恢复、响应快,选择性较好等特点。因而证明本设计方向不 但可行,而且其有重要的意义。
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