【二氧化锡超微粒膜气敏传感器的研究】郑绍发.pdf

目录摘要第一車:概还 1。1传感器的重婴性 1。2半导体气敏传感器的发质史 1。3半导体气敏材料 I.4SrP2 材料及其敏感器件的特点 1。气敏传感器的分类及结构第二章:品Q超微粒膜气敏传感豁的制适2.衬底工艺加工 2加热图形的设计及制作 2绝缘膜Q及引线口的形成 2超微粒敏感膜的制备 2电极和引线焊接 2 加工工艺中的制版和掩横版第三章:件性能测试3 1 SA敏感膜的敏好机理.

二氧化锡超微粒膜微型气敏传感器的研究华南理工大学无线电系郑绍发摘要随着半导体技术和微电子技术的发展,半导体气敏元件的品种数量和质量都有了很快的发展,为了满足信息社会对气体传感器小型化、集成化和智能化的要求,气敏材料正在向超微细化,薄膜化和复合化的方向发展。超微粒薄膜气敏材料由于具有工作温度低、灵敏度高、响应恢复快、易集成、一致性和稳定性较好的独特优点。在近期内得到了很大的发展,并且成为当前气敏材料研究的热门课题.本文采用半导体技术和微电予技术结合的工艺,以硅片作为衬底,M0-Au合金作直热式的加热电阻,进行了SnO2超微粒膜微型气敏传感器的制造,并对器件的参数性能进行

其主要性能如下:<1>灵敏度随器件的工作温度升高而增大,尤其以乙醇为突出。<2>在工作温度为200℃时,灵敏度随各气体浓度增加而增大,但乙醇增加最快。<3>初期恢复、响应一恢复的时间均小于国内外其他同类产品。<4>器件的激活能在02(1500ppm)中为0ev,低于任何同类型产品,实验证明:微电子技术和半导体技术的特点是成本低,易为集成多个传感器,而且本器件具有灵敏度高,工作温度低,功耗小。恢复、响应快,选择性较好等特点。因而证明本设计方向不但可行,而且其有重要的意义。