【智能化薄膜测厚仪与湿敏传感器的研究】柴戍龙.pdf

目录摘要第一章概述 1传感器及其发展 1智能传感器 1智能化薄膜测厚仪 1湿敏传感器一第二章偶流薄膜测厚传感器 2 品流测厚原理 2 流测厚传感器电路 2 遇流测厚传感卷的输出特性第章智能化主板 3CPU的选择一 3 性能特点,简 h1 3 外部程序存情器 3 AD转换及前置电路 3显示器接口了建盘控制 3直流稳,压电源 2.

摘要本在半业论文设计中.主要空成了以下几项工作.《1)研别出了一种智能化薄膜测厚仪。经过调浅,达斗了最初极握电阻率测原和根据及能活算电阻率的功能要求。<2)对智能化薄膜测厚仪进行了综全测试和分析,指出了误差产生的根源及影响。为进一步的改进定善,提供了依搭。<3>设计了一种聚础在腰像膜电等望湿敏传离器。并加2了制造温敏之体用的电极光刻掩膜版,括初缩版和铭版。<4>没计并制作了电够坐淫敏传感器的测量电路.智能化传感器拓辰了传统单功能传感器的性能。把传感界:共微处在器:有机地结会在一起,可以对获得的信息进行识别、存储、经计、的析、控制、转换等智能化操作。

整套装置的硕件结构如围1让示:呈序存储器介遇流 A/D 中央处均器转换 CPU 接直注魂念电源键盘图1 在此基础义,本久设计了模块式的软伴.怎括初始状态、已关峰数输入.厚程七的刚是和电阻率的测星等五了主模块,以及采样、状念控制、数学输入.多字节委除法、虽示器输出、弱制转换等多了子程序模块.用该刚孕仪对怨膜永镇路会会膜作了两组测试,发现主要存在以下三种误差:《1)由于鹰膜表面氧化到起的直线平行流转误差。因材料不同而不同,如铝膜的高达了89元,而课络全全膜关35H 主要视薄膜被章化程来定。