【薄膜型气敏传感器及其加热器的研究】蔡志强.pdf

华南理工大学攻读硕士学位研究生毕业论文薄膜型气敏传感器及其加热器的研究师:胡耀志教授科:微电子技术向:气敏传感器研究生:蔡志强一九八九年三月导学方

20×20=400 制备出了光刻初缩版.为了实现上兄,作者安装和调试了一台直流强控射镀膜机,一台高压直流溅射镀膜机。同时,设计了光刻版图

GN301882 随着科学技术的发展,工业生产规模逐渐大。户品的种类不断增多。在生产中使用的气体原料和在生产过程中产生的气体种类和数量也不断增加,这些气体物质中有些是易然的,有些是有毒的,它们若泄诵到空气中就会严重池污染环境并有户生爆炬,火突及使人中毒的另一方面,随着生产的发展,人类的生活.水平不断提高,液化石油气、城市煤气及天然气做为家庭用燃料迅速普及。由于这些可燃性气体的逃漏所了起的爆炬和火实事故也日益增多。为了对付这种事态,发明了利用物质的物理、化学性质的气般元件,并应用于探测气伴漏气、浓度测量记录和报警等。