[薄膜型气敏传感器及其加热器的研究]蔡志强

【薄膜型气敏传感器及其加热器的研究】蔡志强.pdf华南理工大学 攻读硕士学位研究生毕业论文 薄膜型气敏传感器及其加热器的研究 师:胡耀志教授 科:微电子技术 向:气敏传感器 研究生:蔡志强 一九八九年三月 导 学 方20×20=400 制备出了光刻初缩版.为了实现上兄,作者安装和调试了一台直流强 控射镀膜机,一台高压直流溅射镀膜机。同 时,设计了光刻版图GN301882 随着科学技术的发展,工业生产规模逐渐 大。户品的种类不断增多。在生产中使用的 气体原料和在生产过程中产生的气体种类和数 量也不断增加,这些气体物质中有些是易然的,有些是有毒的,它们若泄诵到空气中就会严重 池污染环境并有户生爆炬,火突及使人中毒的 另一方面,随着生产的发展,人类的生活.水平不断提高,液化石油气、城市煤气及天然 气做为家庭用燃料迅速普及。由于这些可燃性 气体的逃漏所了起的爆炬和火实事故也日益增 多。为了对付这种事态,发明了利用物质的物 理、化学性质的气般元件,并应用于探测气伴 漏气、浓度测量记录和报警等。
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