【化学汽相沉积法制SnO2掺杂薄膜及其气敏光学特性的机理研究】黎达宇.pdf

目帐中文摘要英文摘要第一章前言.第二章 SnO2的性质和气敏作用的电学机理SnO2的性质SnO2的表面效应SnO2的电学气敏机理添加剂的作用机理第三章化学汽相沉积法(CVD)制备SnO2掺杂薄膜的工艺第四章 SnO2掺杂薄膜气敏光学特性的测量4 SnO2掺杂薄膜气敏光学特性的测量 4 实验结果.第五章SnO2薄膜气光学特性的机理探讨.5 SnO2薄膜的气敏光学特性.

性的新型气敏光学传感器.关键词:二氧化锡.薄膜:化学汽相沉积:气敏.光谱透过率 ABSTRACT Metaloxidesemiconductorgassensitivematerialandsensetechno logyhavebeendevelopedsincefiftiesthiscentury.SnO2isthemost representative.Theresearchforitsgassensitiveelectrical mechamism gas sensitive optical characters of SnO2 film,it is interesting to I

第一章前言近代工业,尤其是石油和其他化学工业的迅速发展,人们对生活水平要求的不断提高,人们在生产和生活中,经常会接触到各种各样的气体,其中有不少是易燃、易爆、有毒或会对环境造成污染的气体,为了更好地促进生产和提高生活水平,气体检测的研究日益受到重视。早期对气体检测的方法主要采用电化学法、光学测量法、色谱分离法等,但因其检测速度慢、设备复杂、价格高昂以及使用不便,而未能在实际应用得到推广。随着金属氧化物半导体气敏特性的发现,利用此特性做成的气敏传感器,因具有灵敏度高、体积小、设备简单、使用方便、价格便宜等优点,在气体浓度检测、有害气体的报警防灾、环境监测等方面得到广泛应用,为半