[气敏光学薄膜工艺特性的研究]张其东

【气敏光学薄膜工艺特性的研究】张其东.pdf摘 要二 引 言:三 二氢化锡膜的气敏一光学特性机理四 二氧化锡薄膜的制备五 测量装置.摘要 本文分别采用高温喷涂和冷涂热处理的方法,制备了二氧化锡 及其掺杂的光学薄膜,该膜具有气敏特性,即随着气体浓度的变化,射过二氧化锡及其掺杂膜片的光强透过率也随之发生变化.我们称 这种现象为?气敏一光学?特性.我们采用双光路结构的敏感膜透过率测量系统,测量了二氧化 锡及其掺杂膜片在乙醇蒸汽、丙酮、乙酸乙酯等蒸汽中的光的透 过率与气体浓度的关系。大量的实验表明,我们所制备的二氧化锡 及其掺杂膜片对乙醇等蒸汽,具有明显的“气敏一光学“特性,并且 具有较高的灵敏度、较短的响应时间及较好的重复性.半导体器件具有无须加热、比较安全、传感头结构非常简单等优 点,且不受周围电磁场的干扰。一引言 半导体敏感技术是一门新兴技术,近几年发展迅速,各种 半导体敏感器件及其传感器日新月异。在国防、国民经济各 部门及人们的日常生活中得到越来越广泛的应用.半导体敏感器件及其传感器能把力、热、光、磁、气、温度、射线、离子等物理、化学和生物等非电量信号转换成 电信号。它具有体积小、精度高、灵敏度高、成本低使于集 成化,多功能,易与微机接口等特点。从而得到广泛的应用,特别是作为摄取信息的功能部分,越来越受到人们的重视,因而发展迅速。
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