【气敏光学薄膜工艺特性的研究】张其东.pdf

摘要二引言:三二氢化锡膜的气敏一光学特性机理四二氧化锡薄膜的制备五测量装置.

摘要本文分别采用高温喷涂和冷涂热处理的方法,制备了二氧化锡及其掺杂的光学薄膜,该膜具有气敏特性,即随着气体浓度的变化,射过二氧化锡及其掺杂膜片的光强透过率也随之发生变化.我们称这种现象为?气敏一光学?特性.我们采用双光路结构的敏感膜透过率测量系统,测量了二氧化锡及其掺杂膜片在乙醇蒸汽、丙酮、乙酸乙酯等蒸汽中的光的透过率与气体浓度的关系。大量的实验表明,我们所制备的二氧化锡及其掺杂膜片对乙醇等蒸汽,具有明显的“气敏一光学“特性,并且具有较高的灵敏度、较短的响应时间及较好的重复性.半导体器件具有无须加热、比较安全、传感头结构非常简单等优点,且不受周围电磁场的干扰。

一引言半导体敏感技术是一门新兴技术,近几年发展迅速,各种半导体敏感器件及其传感器日新月异。在国防、国民经济各部门及人们的日常生活中得到越来越广泛的应用.半导体敏感器件及其传感器能把力、热、光、磁、气、温度、射线、离子等物理、化学和生物等非电量信号转换成电信号。它具有体积小、精度高、灵敏度高、成本低使于集成化,多功能,易与微机接口等特点。从而得到广泛的应用,特别是作为摄取信息的功能部分,越来越受到人们的重视,因而发展迅速。