【硅衬底Ba1-xLaxTIO3淀积膜光敏特性研究】赵泉波.pdf

分类号学校代码:10561 UDC 密级学号:96317 华南理工大学学位论文硅衬底Ba-LaTi0淀积膜光敏特性的研究(广东省九五攻关项目的部分研究内容)赵泉波指导教师姓名名李观启教授黄美浅副教授华南理工大学应用物理系申请学位级别工学硕士专业名称微电子学与固体电子学论文提交日期论文答辩日期 1999.

华南理工大学工学硕士学位论文 4光敏元件的物理效应分析 4小结第五章元件的参数分析及测试 5光敏特性的测试 5光敏元件的参数分析 5灵敏度 5增益 5光电流I的经验公式 5小结第六章实验结果与分析 6Ba-xLaTiO膜的光谱分析 6电流一照度特性 6电阻一照度特性 6伏一安特性 6光电流与电压、照度关系的经验公式 6灵敏度、增益与照度的关系 6频率特性 6温度特性 6通氧热处理的结果及分析 6.

华南理工大学工学硕士学位论文通过对样品频率特性的测量,计算得到样品的电子寿命约为16ms。该样品的温度特性表明,亮阻变化率的绝对值随照度的增加而变小,随温度的增加先增大然后又逐渐变小,其变化不超过2。对该样品进行连续通氧热处理的实验发现,在一定条件下,元件的光敏特性可得到改善,在文中对其机理进行了分析。采用最小二乘法拟合,得到该样品的光电流I与照度、电压的关系式,电压指数a在 1.2之间,照度指数在0.1之间.本研究制备的光敏电阻器可作为分立元件使用,由于该元件结构的制备与硅平面工艺兼容,为集成传感器的实现提供了一种可能.关键词:光敏传感器.钛酸镧钡.MIS结构.