[硅衬底Ba1-xLaxTIO3淀积膜光敏特性研究]赵泉波

【硅衬底Ba1-xLaxTIO3淀积膜光敏特性研究】赵泉波.pdf分类号 学校代码:10561 UDC 密级 学 号:96317 华南理工大学学位论文 硅衬底Ba-LaTi0淀积膜光敏特性的研究(广东省九五攻关项目的部分研究内容)赵泉波 指导教师姓名 名李观启教授黄美浅副教授 华南理工大学应用物理系 申请学位级别 工学硕士 专业名称微电子学与固体电子学 论文提交日期论文答辩日期 1999.华南理工大学工学硕士学位论文 4光敏元件的物理效应分析 4小结 第五章元件的参数分析及测试 5光敏特性的测试 5光敏元件的参数分析 5灵敏度 5增益 5光电流I的经验公式 5小结 第六章实验结果与分析 6Ba-xLaTiO膜的光谱分析 6电流一照度特性 6电阻一照度特性 6伏一安特性 6光电流与电压、照度关系的经验公式 6灵敏度、增益与照度的关系 6频率特性 6温度特性 6通氧热处理的结果及分析 6.华南理工大学工学硕士学位论文 通过对样品频率特性的测量,计算得到样品的电子寿命约为16ms。该样品的温 度特性表明,亮阻变化率的绝对值随照度的增加而变小,随温度的增加先增大然 后又逐渐变小,其变化不超过2。对该样品进行连续通氧热处理的实验发现,在一定条件下,元件的光敏特性可得到改善,在文中对其机理进行了分析。采用 最小二乘法拟合,得到该样品的光电流I与照度、电压的关系式,电压指数a在 1.2之间,照度指数在0.1之间.本研究制备的光敏电阻器可作为分立元件使用,由于该元件结构的制备与 硅平面工艺兼容,为集成传感器的实现提供了一种可能.关键词:光敏传感器.钛酸镧钡.MIS结构.
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