【集成扩展电阻硅二维流量传感器】吴朝晖.pdf

目录中文摘要(关键词)英文摘要(关健词)一、引言二、二维SRSF传感器的工作原理二维SRSF传感器的结构二维流速流向测量原理简述二维SRSF传感模型的理论计算1.一维分析 11 2.二维分析三、传感器操头的设计与制作传感器的结构设计传感器的制作工艺设计白传感器的封装设计四、测量原理与测量技术(R-T特性测试.T-I特性测试白流量敏特性测试 1.测试装置 3.

Abstract Basedontheresearchofone-dimentionalspreading resistance silicon flow sensor(abbreviation as SRSF),a newtypeof two-dimentional flow sensor that candetect the magnitudeand direction ofa fluid flowispresent.Thispaper describes indetail the thermal modelling of thistwo-dimentionalflowsensor ac

一、引言目前,计算机数据处理及计算机控制在各个科学领域及办公室自动化领域内的应用已经日渐广泛。近年来,计算机控制技术开始应用于工业生产,特别是大规模集成电路设计和制造技术的成熟和发展,使得单片机技术在工业在线测量和控制方面的应用成为现实.利用计算机控制技术能准确地读取数据、快速地处理数据和精确地控制操作,从而减少人工误差,提高工作效率,有诱人的发展前景.一般的计算机控制系统包括前端测量系统、中央处理系统和后端执行系统三个部分组成,其中前端测量系统和后端执行系统的核心部分就是传感器。由于计算机中央处理系统处理的信号只能是电信号,所以要求相联结的传感器的输出也必需是电信号。