[集成扩展电阻硅二维流量传感器]吴朝晖

【集成扩展电阻硅二维流量传感器】吴朝晖.pdf目录 中文摘要(关键词)英文摘要(关健词)一、引言二、二维SRSF传感器的工作原理 二维SRSF传感器的结构 二维流速流向测量原理简述 二维SRSF传感模型的理论计算1.一维分析 11 2.二维分析 三、传感器操头的设计与制作 传感器的结构设计 传感器的制作工艺设计 白传感器的封装设计 四、测量原理与测量技术(R-T特性测试.T-I特性测试 白流量敏特性测试 1.测试装置 3.Abstract Basedontheresearchofone-dimentionalspreading resistance silicon flow sensor(abbreviation as SRSF),a newtypeof two-dimentional flow sensor that candetect the magnitudeand direction ofa fluid flowispresent.Thispaper describes indetail the thermal modelling of thistwo-dimentionalflowsensor ac一、引言 目前,计算机数据处理及计算机控制在各个科学领域及办公室 自动化领域内的应用已经日渐广泛。近年来,计算机控制技术开始 应用于工业生产,特别是大规模集成电路设计和制造技术的成熟和 发展,使得单片机技术在工业在线测量和控制方面的应用成为现实.利用计算机控制技术能准确地读取数据、快速地处理数据和精确地 控制操作,从而减少人工误差,提高工作效率,有诱人的发展前景.一般的计算机控制系统包括前端测量系统、中央处理系统和后端执 行系统三个部分组成,其中前端测量系统和后端执行系统的核心部 分就是传感器。由于计算机中央处理系统处理的信号只能是电信号,所以要求相联结的传感器的输出也必需是电信号。
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