【背面敏感SRSF传感器的研究~注】郑继雄.pdf

目录摘要(关键词)一、序言二、SRSF传感器的背面敏感原理背面敏感与正面敏感(背面敏感的定性说明三背面敏感的定量说明 1.二维稳态导热模型的建立 2.定解结果与分析三、背面敏感SRSF探头的设计与制造(版图设计工艺设计三)封装设计 1.片状SRSF器件的设计 6!2.检测支架的设计 3.SRSF探头表面贴装的工艺过程四、测试方法、测量结果与分析(背面敏感SRSF传感器的R-T特性测试 Tc-I特性测试三流量特性测试四结果分析五、结论与展望六、致谢七、参考文献八、附录

由于本课题侧重封装设计,未对版图设计及信号控制方面作进一步研究,所以,只要对这些方面作适当的改进,可望使背面敏感 SRSF传感器成为一种真正实用的新型量热型流量传感器。

Putten等人研制出集成硅流量传感器,芯片面积仅1mm2 8.八十年代初,J.H.Huijsing研制出单片流向流量传感器《。而 1984年,日本丰田研究发展中心的0samutabata研制出快速立式流量传感器 i。1987年,Honeywel1物理研究中心的R.G.Johnson等人研制出硅桥式流量差压双参量传感器 2。而国内则有南京技术研究所终庆颐等人研制出CMOS单片流量传感器 1.从此,人们的思路空前开阔起来。传感器的流向检测从一维发展到二维.热传导元件从采用电桥、差分对管,发展到采用热电堆.检测参量从单一的流量检测到同时检测压力、温度、流量.