【集成扩展电阻硅流量传感器】张寿远.pdf
集成扩展电阻硅流量传感器 目 摘要(关读词)一、序言 二、SRSF传感器的工作原理(一)SRSF传感器的结构(二)定性说明(三)定量分析 1.传热边界层的概念 2.传热边界层内热量传递机理 3.边界层热流方程及其积分求解-温差原理.三、SRSF传感器的设计与制造结构设计(二)工艺设计(三)封装设计 四、测试方法、测量结果及分析(—-)各单元R-T特性测试(二)T-I特性测试(三)流量的测量.
集成扩震电阻硅流量传感器 一、序 言 流量是工业生产过程中的一个十分重要的参数,流量的测量与控制是 工业自动化控制中的重要环节之一,流量仪表为各工业部门提高产量和降 低生产成本所必需,随着工业自动化水平的不但提高,流量的测量和控制 由原来的保证稳定运行正朝最佳化控制过渡。尤其是八十年代微处理器、单片机在测量仪表中的运用使得测量仪表的智能化迈上了一个新台阶[1] 然而,作为流量仪表的“感官”一流量传感器的发展与仪表信息处理技术 的发展出现了不平衡的局面,即处理过胜,感觉不足:流量传感器成了 流量仪表发展的障碍。
集成扩展电阻硅流量传感器 的效应没有限制,笔者自然联想到所在课组研究的扩展电阻硅温度传感 器(简称SRT传感器)、把扩展电阻这种高精度测试技术应用于传感器国内 外报道不多见华南理工大学应用物理系半导体教研室传感器课题组刘百 勇教授等人早在1985年开始了对这一技术的研究,业已完成理论模型 10] 、计算机模拟 11]、测试 12]、封装[18]、改进[14]等研究工作:尤其是 1991年刘百勇教授、黄仑硕士等人在扩展电阻集成化的前提研究中取得突 破性进展 1],为扩展电阻硅流量传感器的研究奠定了基础:本课题据初 步的文献检索国内外还没曾有过、扩展电阻的温敏灵敏度比普通温敏PN结 等的高,这已成