【硅衬底的SrTiO3淀积膜的湿敏特性研究】尤文俊.pdf

摘要本论文首先全面介绍湿敏传感器,主要是陶瓷湿敏传感器的分类和工作原理。在此基础上,对SrTiO。材料的湿敏机理进行探讨。从物理吸附和化学吸附模型出发,研究它们对SrTiO:材料电特性的影响,推导出一个能够确切描述材料湿敏机理的数学模型.研究孔中吸附水分时电阻和电容的变化,并进行数学处理。文中详细讨论了数学处理结果及物理意义,得到不同湿度下材料的阻抗和容抗随湿度变化的定量关系式.本实验采用氩离子束镀膜机,在经过干氧氧化的硅片上镀一层钛酸锂材料,通过对镀膜时间的控制,获得不同厚度的钛酸锶膜。

目帐摘要前言湿度传感器综述 2-1 传感器的定义和分类 2-2 湿度传感器 2-2-1 湿度的定义及湿度测量的意义 2-2-2 湿度的测量湿度传感器阿瓷湿度传感器 3-1 分类 3-2 湿敏机理 3-2-1 质子导电理论 3-2-2 电子导电理论 3-2-3 Seiyama理论钛酸锶湿敏元件分析 4-1 SrTiO材料及电特性 4-2 钛酸锶半导瓷的湿敏特性 4-2-1 水分子的吸附对钛酸锶电导率影啊的定性分析 4-2-2 水分子的吸附对钛酸锶电特性影响的定量一析 34-3元件的电特性

1前传感枝术的应用,伴随着计算机的应用而越来越受到人们的重视,其在各方面的应用也越来越广泛。随着测量技术的发展,人们需要的传感器种类和数目也越来越多.自动化程度的提高,也越来越多地依赖传感器技术的发展。众所周知,自动控制的中心都依赖于计算机,而计算机的输入只能识别电量参数,对于其它量的测量,只能通过传感器把所要测量的量转换为电量表示.混度的测量经历了一个相当复杂的历史发展过程。当前所使用的湿度测量工具,有毛发湿度计、干湿泡湿度计、露点湿度计、以及氯化锂湿度计、陶瓷湿度计,还有一些其它材料制成的湿度计:所有这些湿度测量工具,都有这样或那样的缺点。