[硅衬底Ba1-xLaxNbyTi1-yO3淀积膜热敏特性的研究广东省科委资助项目]金振武

【硅衬底Ba1-xLaxNbyTi1-yO3淀积膜热敏特性的研究广东省科委资助项目】金振武.pdf分类号 学校代码:10561 UDC 密级 学 号:199841045201009 华南理工大学学位论文 硅衬底Ba-LaNbTi.O淀积膜 热敏特性的研究(广东省科委资助项目)金 振 武 指导教师:黄美浅副教授 华南理工大学应用物理系 副导师:李观启教授 华南理工大学应用物理系 申请学位级别:硕士 专业名称:微电子学与固体电子学 论文提交日期:论文答辩日期:2001.华南理工大学硕士学位论文 5工艺过程5 直流电压下电阻.温度特性测试5元件交流特性的测试5 测试装置5元件阻抗的模Z与电容C的计算5本章小结.第六章实验结果和分析6元件直流特性 6 电流与温度的关系6 热敏电阻.温度的关系6 钛锯酸镧钡热敏电阻的电阻材料常数和电阻温度系数的计算 6 线性化问题6不同膜厚样品的比较6 镀膜时间5分钟的样品各参数的计算6.华南理工大学硕士学位论文 Abstract TheAl/Ba.LaNb,TiyO/SiO/SistructureismadebyusingtheArgon-ion beamplating technique andplaner process,at the same time,a thermistor-capaciton componentis formed.The characteristics of the thermistor are studied.
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