【硅衬底Ba1-xLaxTiO3淀积膜可集成湿敏元件的研究广东省科委资助项目】吕晶.pdf
分类号 学校代码:10561 UDC 密级 学号:199741045201007 华南理工大学学位论文 硅衬底Ba1-xLaxTiO淀积膜可集成 湿敏元件的研究(广东省科委资助项目)吕晶 指导教师 李观启教授 华南理工大学应用物理系 副导师 黄美浅副教授 华南理工大学应用物理系 申请学位级别工学硕士 专业名称微电子学与固体电子学 论文提交日期2000 论文答辩日期 2000.
华南理工大学工学硕士学位论文 5工艺流程及条件 5湿敏特性的测试 5测试电路 5测试环境 5小结 第六章实验结果与分析 6湿度敏感特性 6湿滞现象及分析 6电流一频率特性 6电流一响应时间特性 6感湿膜相对介电常数分析 6.
华南理工大学工学硕士学位论文 容值,并计算出与之相应的钛酸镧钡感湿膜的相对介电常数,结果表明钛酸钡 感湿膜的相对介电常数随着相对湿度的增加而增大,当相对湿度从12 变化到 92 时,钛酸镧钡感湿膜相对介电常数的增加量达到50 .总的来说,本文研究的MIS结构具有良好的感湿灵敏度,可应用的频率范围 较宽,并且响应时间较短。同时,由于本研究样品的制备与硅平面工艺兼容,通 关键词:钛酸镧钡.薄膜.MIS结构:相对湿度.