【硅衬底钛铌酸锶膜智能光敏传感器的研究广东省九五攻关项目的部分研究内容】张玉玺.pdf
分类号 学校代码:10561 UDC 密级 学 号:97291 华南理工大学学位论文 硅衬底钛酸锶膜智能光敏传感器的研究(广东省九五攻关项目的部分研究内容)张玉玺 指导教师姓名 黄美浅副教授李观启教授 华南理工大学应用物理系 申请学位级别 工学硕士:专业名称微电子学与固体电子学 论文提交日期论文答辩日期 2000.
华南理工人学L学硕士学位论文 4原材料 4工艺流程及条件 4SrNbxTi-xO膜的物理性质 4光敏元件的物理效应分析 4光敏特性的测试 4光敏元件的参数分析 4灵敏度 4增益 4小结 第五章实验结果与分析 5SrNbxTi-xO膜的光谱分析 5电流—照度特性 5电阻一照度特性 5伏—安特性 5灵敏度、增益与照度的关系 5频率特性 5温度特性 5小结 第六章传感器电路的设计 6设计综述 6放大电路 6A/D转换电路 6数据处理 6显示电路 6.
华南理工大学1学硕十学位论文 摘要 本研究利用氩离子束镀膜技术和硅平面工艺在经过干氧氧化的硅衬底上制 备一层钛锯酸锶薄膜,然后蒸铝并利用光刻技术制作铝电极,从而制备形成平面 型薄膜光敏电阻器.本文首先介绍光和光敏传感器的基本理论,然后讨论光与半导体材料的相 互作用、光电导机理,并对钛锯酸锶薄膜的物理性质、元件的结构和物理效应进 行分析,对光电导增益、灵敏度等参数作了较详细的讨论。同时,从元件的物理 结构和光敏机理出发,建立了一个能解释本元件饱和光敏机理和最大光电导增益 的平板电容器数理模型,推导出元件的光电导增益、比灵敏度、光电流、照度和 电压以及电极间距的关系式,根据这些式子便可以研究照度