[神经网络在电感耦合等离子体刻蚀中的运用研究国家自然科学基金项目69771015]周亮笛

【神经网络在电感耦合等离子体刻蚀中的运用研究国家自然科学基金项目69771015】周亮笛.pdf分类号 学校代号:10561 UDC 密级 学 号:199835015201028 华南理工大学学位论文 神经网络在电感耦合等离子体刻蚀中的运 用研究(国家自然科学基金项目69771015) 周亮 笛 指导教师:黄光周 教授 电子与通信工程系 申请学位级别 工学硕士 专业名称:物理电子与光电子学 论文提交日期2001年2月 论文答辩日期2001年3月 学位授予单位和日期:_华南理工大学 答辩委员会主席:论文评阅人:M200100967华南理工大学工学硕士学位论文 3误差反传算法(Error-BackPropagation算法)对神经网络的训 练神经网络刻蚀模型的计算机软件设计,本章小结.第四章实验结果与讨论.射频功率对刻蚀速率和均匀性的影响 理想的射频功率对刻蚀速率的影响.气压对刻蚀速率的影响.反应室高度对均匀性的影响 结论总结与展望参考文献.攻读学位其间发表的论文.致谢华南理工大学工学硕士学位论文 Abstract With the development ofVLSI,theInductively Coupled PlasmaSources(ICPs)have been paid muchattentionbypeople asanewtypeof reactors of large areas and high density.Therefore,the uniformity andetch rate ofICPSarethemainresearchfieldsinraisingtheefficiency ofIcPSin thepresent.
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