【质点网格法电感耦合等离子体数学模型及抗干扰朗谬尔探针的研究国家自然科学基金项目69771015】梁斌.pdf

分类号学校代号:10561 UDC 密级学号:S97100 华南理工大学学位论文质点网格法电感耦合等离子体数学模型及抗干扰朗谬尔探针的研究(国家自然科学基金项目69771015)梁斌指导教师:黄光周教授电子与通信工程系申请学位级别工学硕士专业名称:物理电子与光电子学论文提交日期2000年2月论文答辩日期2000年3月学位授予单位和日期:华南理工大学答辩委员会主席:论文评阅人

华南理工大学工学硕士学位论文 4概述4朗谬尔探针测量原理.引言静电探针(langmuir探针)的基本原理实验系统的组成和原理系统的软件设计探针抗干扰研究.探针受到的射频干扰抗干扰技术4实验、数据拟和及讨论、4小结.总结与展望.参考文献.致谢.

华南理工大学工学硕士学位论文在等离子体诊断方面,本文讨论并设计了计算机控制的智能化朗谬尔探针系统。这个系统已经在我们的等离子体诊断实验中使用。系统采用D/A 转换电路产生扫描电压,用A/D转换电路对探针电压和探针收集电流进行采集,扫描电压的产生、数据采集、存储由单片机控制。同时单片机通过串行接口与微机通信,将数据传送到微机,探针数据的处理中大量的浮点运算由微机完成。针对射频放电对探针测量系统造成的严重干扰,本文讨论了干扰产生的原因,采用了两种抗干扰技术:设计了特殊的调谐电路,阻止干扰信号进入测量系统.在数据处理中采用数字滤波技术对数字信号进行滤波。