【高灵敏度压电陶瓷研究】陈毅敏.pdf

分类号学校代码:UDC 密级学号:研S97207 华南理工大学学位论文高灵敏度压电陶瓷研究陈毅敏指导教师:陈旭明副教授材料学院电子材料科学与技术系申请学位级别:硕士专业名称:微电子学与固体电子学论文提交日期:论文答辩日期:2000.

华南理工大学硕士学位论文 3泊松比O 的测定3机电耦合系数的测定,3机械品质因数的测定 3X一射线衍射分析显微结构分析.第四章Pb(MnW)O的影响4Pb(Mn/2W/2)0含量对电性能的影响 4Pb(Mn/2W2)0对物理性能的影响第五章SrCO的影响 5SrC0含量对电性能的影响 5SrC0含量对物理性能的影响.第六章分析讨论6显微组织结构的异常发现 6结构对极化性能、机械强度的影响 6多气孔结构对压电灵敏度有利X射线分析 6应用中可能遇到的问题结论

摘要摘要本文在二元系压电陶瓷PZT的基础上,引入反铁电体Pb(Mn,Wv)O,组成新的三元系统。通过调整配方和改变工艺条件,采用传统的压电陶瓷工艺获得了具有高压电灵敏度的新型压电陶瓷材料,该材料结构和性能具有显著的特点:较高的压电灵敏度(g3高达60×10-Vm/N)、很低的介电常数(E在500左右可低至330),较高的气孔率(开口气孔率高达28),晶粒圆滑、粗大.讨论了Pb(Mn,2W)O、SrCO等含量对压电陶瓷性能的影响.利用X射线衍射分析、电子显微镜扫描和能谱分析等测试手段,从行了分析与讨论。