【精密和超精密加工技术】袁哲俊.pdf
普通高等教育机电类规划教材 精密和超精密加工技术
前誉 精密和超精密加工技术是机械制造业中最重要的部分之一,这是因为精密和超精密加工 技术不仅直接影响尖端技术和国防工业的发展,而且还影响机械产品的精度和表面质量,影 响产品的国际竞争力。例如陀螺仪现在是用超精密切削等方法加工的,它的精度直接影响导 弹的命中精度。大规模集成电路的制造,使用了超精密研磨和微细加工等技术,它的加工工 艺水平决定了集成电路上的线宽和元件数,直接影响微电子工业和计算机技术的发展。世界 各国都非常重视发展精密和超精密加工技术,把它作为发展先进制造技术中的优先发展内容。
目 前言 第二节精密磨前 *47 第一章 精密和超精密加工技术及其 第三节超硬率料砂轮磨51 发展展 第四节 超精密前57 第一节 发展精密和超精密加工技术的 第五节 精密和超精密砂带磨前 重要性 第二节 超精密加工技术的现状 第四章 精密和超精密加工的机床 第三节超精密加工技术发展 第一节 精密和超精密机床发展 复习思考题 第二章超精密切削与金刚石 第二节 典型超精密机床的简介72 刀具 第三节 精密主轴部件78 第一节超精密切削的切削速度 第四节 床身和精密导轨部件82 选择 第五节 进给驱动系统 第二节 超精密切削时刀具的损和 第六节 微量进给装量 第七节 机床运动部件位移的激