【等离子体喷射法气相生长金刚石】李惠琪煤炭工业.pdf
等离子体喷射法气相 生长金刚石 李惠琪李惠东何鸣鸿著
前言 气相生长金刚石是避年来才在世界上少数工业发达国家获工:业开发价值的人工合成金刚石的高新技术。该技术是避过将含有 碳元素的气体与氢气的混合物流经高温区或其他高能量密度区 域,使之部分活化,即部分发生分解与电离,然后在适当温度的 基体表面均匀生长出一层纯的金刚石腺层来,以滴足不同的使用 要求。这一技术的核心内容是气体的活化方法,就是获得低温等 高子体的方法。目前应用较为成熟的有热丝法、微波法和等离子 体喷射法等,其中以等高子体喷射法的效率最高、潜力最大。用等,离子体喷射法可以在各种刀具农面镀夏高纯度金附石膜、生产半 导体热沉、X光和强激光窗口材料、整体金刚石导弹头单及金剧 石微粉等。
第一节金刚石的结构、性能与应用 第二节气相生长金刚石的工艺发展过程 第三节气相生长金刚石的工艺研究现状 e,h 二、气体成分与配比 第四节气相生长金刚石的机理研究 H22 第一章低温等离子体的性质 第一节等离子体的分类 第二节低温等离子体的热流体力学性质 一、等离子体的温度 二、等离子体的电导 三、等离子体的传热 四、热流体力学问题 五、等离子体传热的微观机制 六,等离于体的话 七、等离于弧柱中的热绕流 * 八、等离子体的流动与热泳现象 第三节低温等离子体的电磁学性质 ?*56 一、洛伦效力场中的热驱动流 二、气体的电离与电流密度 三、电子在电场中的扩散 四、等离