【高等电子光学】唐天同.pdf

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高等电子光学 唐天同编著作者 一九九四年六月于西安交通大学 前言 电子光学,或称带电粒子光学,是研究自由电子及其它带电粒子的运动,特别是电子和离 子束的聚焦、成象、偏转与色散的学科。电子光学在电子显微学、电子束器件、质谱学与能谱学、加速器与实验粒子物理、微电子工艺技术与电子束工艺学等技术领城具有广泛的应用。因此,上述各领域各有侧重地研究了电子离子运动及电子离子束的性质。本书的目的在于对上述不 同领域的电子光学做统一的描述,以适应各领域电子光学研究互相渗透、互相促进的现状,并 按照主要的物理特征,本书首先论述了质点动力学原理以及用于研究与计算电子光学中 的场的电磁学基础:其次,介绍了几何电子光学的基本理论,即关于聚4圆透镜的轴上象散及其校正 4圆透镜球差的校正 参考文献 第五章电子束的传输 5相空间与踪迹空间 5发射度与椭圆相图的变换 5电子束的包络 5束腰和束腰到束腰的传输 5空间电荷与象差的作用 参考文 第六章束电流密度分布与图象传递函数 6电子发射与亮度 6.